(주)이솔기업정보

EUV(Extreme Ultra Violet) Solution Provider

주식회사 이솔은 대한민국 유일의 EUV 반도체 장비 회사로서 글로벌 톱 수준의 EUV 장비 기술을 보유하고 있습니다. 세계에서 두번째로 EUV 결함 리뷰 설비 상용화와 세계 최초 양산향 EUV 펠리클 투과율 측정장비, 세계 최초EUV 마스크 위상 측정 장비 및 EUV 간섭 패터닝 장비 개발에도 성공하였습니다. ESOL은 EUV 광원부터 EUV 광학계, 관련 S/W 및 나노 시스템에 이르는 대부분의 기술을 직접 개발 및 제작할 수 있는 역량을 보유하고 있습니다.

반도체 산업에서의 EUV 기술은 향후 수십년 동안 업계 전반에서 사용될 반도체 업계의 핵심 기술입니다. 이솔은 업계 최고 수준의 반도체 및 EUV 전문가들로 팀이 구성이 되어 있습니다. 미래에 글로벌 톱 수준의 EUV 종합 Solution 회사를 목표로 첨단 장비와 소재를 개발하고 있습니다.

2017.12 주식회사 이솔 설립(E-SOL, Inc.)
2019.06 EUV 광원(HHG 소스) 개발
2019.10 사옥 이전 (경기도 화성시 동탄산단6길 15-23 → 동탄산단10길 45) 및 영문명 변경 (ESOL, Inc.)
2019.12 기업부설연구소 인증
2020.05 소재·부품·장비 전문기업 인증
2020.06 SREM beta 機 개발 완료
2020.08 벤처기업 인증
2020.10 EUV 펠리클 측정 장비 개발
2020.11 중소벤처기업부 지정 '소재·부품·장비 스타트업 100' 선정
2020.12 EUV 펠리클 T/R 장비 개발
2021.03 EUV PSM(결함 리뷰) 측정 장비 개발
2021.05 EUV IL 노광 장비 개발
2021.10 Global 칩 메이커社 EUV 장비(SREM) JDP(공동개발 프로젝트) 시작
2021.12 EUV 펠리클 측정 장비 고객사 납품
2022.03 Global 칩 메이커社 JDP 계약
2022.05 벤처 캐피탈 상환전환우선주 투자 유치
2022.07 ISO 9001, 14001, 45001 인증
2022.09 Global 칩 메이커社 EUV 마스크 리뷰 장비 납품
2023.02 Semicon Korea 2023 참가
2023.04 벤처기업 재인증
2023.06 대한민국 산업기술 R&D 대전 참가
2023.12 Global 칩 메이커社 EUV 마스크 리뷰 장비 Sign off, 매출 발생
2024.01 Semicon Korea 2024 참가
2024.04 전문연구요원 병역지정업체 선정
2024.05 벤처 캐피탈 보통주 투자 유치
2024.10 핵심전략기술(반도체 극미세 EUV 마스크 및 보호막 검사 장비 제조 기술) 선정
2024.11 특허기술상 홍대용상 수상