'엘립소테크놀로지' 기업정보

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  • 엘립소테크놀로지

    • 업종 기타 측정, 시험, 항해, 제어 ..

      주요사업 측정,분석 장치(엘립소메타,박막측정기,..

      설립 2000년

      대표자 김상열

    • 위치 경기 수원시

      매출액 11억 4,086만원

    • 주요 사업내용 : 맞춤형 Ellipsometer의 국내 제작, 보급주요 취급품목 : 단파장엘립소미터, 분광엘립소미터, 지진계
  • 엘립소테크놀러지

    • 업종 반도체·광학

      주요사업 측정,분석 장치(엘립소메타,박막측정기,..

      설립 2000년

      대표자 김상열

    • 위치 경기 수원시

      매출액 11억 4,086만원

    • ㈜엘립소테크놀러지는 국내 최초로 in situ, ex situ 겸용 단파장 ellipsometer와 spectroscopic ellipsometer 등을 개발하였으며, dual laser, 가변입사각, mapping, micro viewer, 편광제어 분광투과율/반사율, 마이크로 투과율 등 다양한 사양을 추가할 수 있는 확장형 시스템으로 발전시켰고, He-Ne 레이저를 광원으로 하는 단파장 ex-situ ellipsometer는 저가의 단순 두께 측정용으로 개발되었으며 진공포트 플랜지의 표준규격에 맞춘 adaptor에 부착되면 박막성장이나 식각의 in situ 실시간 모니터링에 적합니다. Deutrium-Halogen 광원과 spectrograph 시스템을 채택한 spectroscopic ellipsometer는 다층박막분석에 적당하며 dual wavelength ellipsometer는 상대적으로 두꺼운 박막두께의 실시간 측정에 유용하며, 이상과 같은 기본제품 외에도 당사에서는 박막의 두께분포 측정을 위한 2D mapping ellipsometer, ellipsometer와 분광광도계를 결합하고 수정된 푸리에변환법을 적용하여 sub-A 두께의 초박막부터 수백 ㎛ 두께의 후막까지 광범한 두께측정에 유용한 ellipso-spectrometer, in situ 용 spectroscopic ellipsometer, 고속측정이 가능한 high speed spectroscopic ellipsometer, 편광제어 마이크로 분광투과율 profiler 등 다양한 박막분석장비 들을 개발하여 보급하고 있습니다. ㈜엘립소테크놀로지는 세계 일류의 광학적 박막분석장비 제조업체로써의 자부심을 가지고 지속적이며 심도있는 연구개발을 통하여 수요자의 요구에 맞춘 다양한 광학적 박막분석장비를 자동화된 customized 구동프로그램 및 분석프로그램과 함께 제공함으로써 사용자의 편의성을 증대시키고 귀사의 발전에 기여하고자 합니다.

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